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清除氮化铝实验成功

发布时间:2018-04-25

利用低温等离子体通过一系列干法化学与物理反应,可有效除去铝表面的一层氮化层,这一过程相对普通清洗活化会显得复杂一些,经过特殊构造的电极和特定的工艺气体是比不可少的条件。

等离子去除氮化铝的工艺不涉及到化学溶液,与化学反应相比更环保,操作更安全。

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